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苹果,还是橙子?

日期:2021-04-19 09:44
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摘要: 苹果,还是橙子? 没错,各位亲,今儿咱们从“苹果”和“橙子”开始唠。。。 英文中“Apple and orange”,是一个习惯用语;说的是事物之间没有可比性,有点像中文的“风马牛不相及”。 然而这苹果和橙子,到底有何不同?让我们用ZYGO白光轮廓仪看个究竟吧。 测试方式如上图,测试配置如下: ZYGO Zegage Pro白光轮廓仪; 10X干涉物镜,2.5mm*2.5mm范围内拼接; 数据分析使用0.008mm-0.8mm带通滤波 上图是测试结果。各位亲猜猜看,哪个是苹果,哪个又是...

苹果,还是橙子?

没错,各位亲,今儿咱们从“苹果”和“橙子”开始唠。。。

英文中“Apple and orange”,是一个习惯用语;说的是事物之间没有可比性,有点像中文的“风马牛不相及”。

然而这苹果和橙子,到底有何不同?让我们用ZYGO白光轮廓仪看个究竟吧。

测试方式如上图,测试配置如下:

ZYGO Zegage Pro白光轮廓仪;
10X干涉物镜,2.5mm*2.5mm范围内拼接;

数据分析使用0.008mm-0.8mm带通滤波

上图是测试结果。各位亲猜猜看,哪个是苹果,哪个又是橙子呢?

 

做3D表面形貌分析时,往往用光谱颜色变化,来辅助标识高度。通常以蓝色表示相对低的区域,而沿着光谱,自蓝色向红色变化,就代表着高度相对增加。

再看这两个表面,左图色彩斑斓,看起来有点“糙”,是不是?。。。

不过这两个结果没有标识测试区域大小,可能有陷阱哦,毕竟宏观和微观视角下,表面形貌可能大有不同呢。

那让我们标识横向尺寸吧:

横向尺寸标注好了,两个结果视场范围都是:2.5mm*2.5mm。嗯,看起来左图“毛毛糙糙”,是不是。。。?

 

等下,虽然横向尺寸标注了,可纵向高度没有单位,以上两图形貌的起伏变化,实际代表分别是多高呢?

 

那让我们标识纵向尺寸吧:

哈,这下有些眉目了。原来在左图里,红色代表的*高点是+10um,蓝色代表的*低点时-10um;而右图的红色高点代表+100um,蓝色低点代表-100um。

 

右图的形貌高低起伏,范围是~200um;实际 是左图~20um的十倍。看来,谁是苹果,谁是橙子有线索了。

 

由于“色谱标识高度”时,一般默认采用自动适应动态范围的方式,总是用红色标识*高点,蓝色表示*低点,而不是以实际高度改变颜色,所以左图会给人一个错觉,“颜色变化更剧烈,好像是更粗糙”。

 

那让我们改变色谱标识自适应动态范围的方式,将色谱标识范围手动设定到+/-100um吧:

哈哈,这下藏不住了!

 

在ZYGO Zegage Pro白光轮廓仪同样的测试区域,同样的高度标尺,同样的色谱变化范围设置下,可以一目了然地从形貌起伏,颜色变化,看出哪个更光滑,那个更粗糙了!

 

总结一下:

 

各位亲,虽然3D形貌地图配合色谱图,非常直观;但横向测试范围,纵向高度尺度也很关键,否则可能会指鹿为马哦!

 

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