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立式配置 激光干涉仪应用

日期:2021-04-22 00:38
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摘要: -立式和卧式配置 有什么不同? -立式配置 有什么优势? -何时该选择 何种立式配置? 以水平卧式的方式,放置样品,是菲索式激光干涉仪*常见的配置。如上图,整个干涉腔,包括干涉仪主机,测试样品及参考镜,相关夹具,都放置在抗振平台台面上。 这样的配置,*大的优势在于对不同应用的适应性。在卧式配置下,无论是平面还是球面样品;表面或者透射波前的测量,都可以很快切换,除了平台尺寸之外,几乎没有限制。 在某些应用场合,基于测试效率,样品...

 

-立式和卧式配置 有什么不同?

-立式配置 有什么优势?

-何时该选择 何种立式配置?

以水平卧式的方式,放置样品,是菲索式激光干涉仪*常见的配置。如上图,整个干涉腔,包括干涉仪主机,测试样品及参考镜,相关夹具,都放置在抗振平台台面上。

 

这样的配置,*大的优势在于对不同应用的适应性。在卧式配置下,无论是平面还是球面样品;表面或者透射波前的测量,都可以很快切换,除了平台尺寸之外,几乎没有限制。

 

在某些应用场合,基于测试效率,样品夹持,测试方式或精度的要求,立式配置会更有优势。

 

·        工业现场测试环境下,立式配置下,样品的夹持放置,更有效率,更加稳定。

 

·        对于很多超高精度测量,要求样品表面保持和工作状态一致的条件下测量。

 

·        立式配置对于某些特殊应用的特殊优势,比如高精度曲率半径测量,大口径平面样品的拼接测量。

·                    激光干涉仪在立式配置下,样品的放置,夹持和调整更方便,提高了测试效率。

 

·                    立式架构整机占地更小;整个干涉腔,处于稳定的框架结构下,这样对抗振要求更低,可省去昂贵和庞大的抗震平台。

 

这些优势,都非常适合在工业现场,有限的空间里,高效测量的要求。平面样品测量对腔长没有要求,更适合于立式配置;如上图左ZYGO平面立式系统,紧凑的结构,很小的占地空间,可以以桌上系统的方式,高效测量。

 

球面样品测试对腔长有要求,需要基于不同样品调整。上图中为ZYGO老型号的球面立式下视系统,这一配置下干涉仪主机在上,重心提高,对于抗振控制提出较高要求。

 

新的ZYGO立式球面测量系统VTS,如上图右,采用上视配置,其重心位置更合理,抗振效果更好;同时上视系统夹具对球面样品,复位性更好。

 

须注意立式球面与卧式配置相比,其适用性比较差,比如测长曲率半径,大口径凹面样品等等时候,立式配置有局限性。立式球面配置,适合于工业定型产品,现场大批量高效测量。

·                    很多超高精度的球面透镜,其工作状态为立式,需要在其工作状态下测试;

 

·                    在立式架构下,球面样品的支撑及夹具,对样品形貌造成的影响更小;

 

·                    基于立式的导轨平台,更适合于高精度的曲率半径测量;

 

超高精度的球面干涉仪,无论是测量表面形貌,还是曲率半径,常采用立式配置。如上图左 ZYGO 300mm立式球面激光干涉仪 VWS

 

·        保持和工作状态一致,也是很多大口径平面样品,采用立式配置检测的原因;

 

·        平面样品更适合于采用拼接技术,以突破干涉仪本身口径,测试更大区域。相对于卧式系统,立式配置更适合于拼接测量。如上图右,ZYGO 600mm+,平面拼接激光干涉仪,就采用了立式配置。

 

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