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大样品台 白光轮廓仪 Nexview? LS650

日期:2021-04-19 20:59
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摘要: Nexview?LS650 大样品台白光干涉仪非常适合测量 尺寸大,重量大 的样品,例如注塑透镜的模具、大尺寸线路板、光学器件,以及机械零件等等。 LS650 样品台尺寸及平移范围,可达 650mm*650mm , 可以在这一范围内实现拼接及脚本编程自动测量,具有亚纳米级垂直分辨率。 各种白光轮廓仪表面纹理测试,常常需要量测尺寸大,重量大的样品,例如: · 大尺寸的电子线路板; · 注塑透镜的模具(如上图); · 高能激光应用中...

 Nexview?LS650 大样品台白光干涉仪非常适合测量 尺寸大,重量大 的样品,例如注塑透镜的模具、大尺寸线路板、光学器件,以及机械零件等等。

LS650样品台尺寸及平移范围,可达 650mm*650mm , 可以在这一范围内实现拼接及脚本编程自动测量,具有亚纳米级垂直分辨率。

 各种白光轮廓仪表面纹理测试,常常需要量测尺寸大,重量大的样品,例如:

 

·             大尺寸的电子线路板;

·             注塑透镜的模具(如上图);

·             高能激光应用中,大尺寸超光滑光学器件;

·             需要测试关键面的大尺寸机械零件;

·             有时被测样品需要特殊夹持机构,需要占用的空间大,负重要求高,也需要高负重,大尺寸样品台的解决方案。

 Nexview?LS650 系统基于ZYGO Nexview?NX2 测试头,继承了其高精度,高分辨率,良好环境适应性的优点。

LS650纵向分辨率优于0.1nm 埃级别,可以用于超光滑表面测量;LS650同样也具有抗振扫描 SureScan?技术,可以良好适应生产环境的振动影响。

Nexview?LS650 采用龙门结构,配置650mm*650mm平移范围的自动样品台;*大负重可达100KG,能良好适应大样品及附属夹具的尺寸,空间,和重量要求。

 

沪公网安备 31011502007567号

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